服務/營業項目

服務/營業項目:
1. 半導體零組件大數據與AI分析健康度及保養預測
2. CIP 專案:節能,產能與良率改善
3. RF Plasma sensor
4. RPS 遠端電漿應用在PECVD腔體清潔技術
5. PVD直流Arcing改善 
6. Etch ICP RF射頻應用支援 
7. Voltage Sag issue電源壓降改善方案
8. AEIS電漿電源及匹配器銷售、維修、保養服務
9. COMET RF匹配器維修服務