Bestda@13.56MHz /400kHz雙頻自動匹配器

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Bestda@13.56MHz /400kHz雙頻自動匹配器

產品說明

Bestda@13.56MHz/400kHz 雙頻自動匹配器內建2組V/I感測器,可測量輸入阻抗及輸出參數,結合步進馬達控制和智慧匹配演算法,提供快速及精確的阻抗匹配功能。雙射頻輸入,單路耦合輸出,可廣泛應用於半導體與光電等製程,廣泛應用於如CVD. PVD與ALD。
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