遠端電漿源

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呈睿國際為半導體業提供電漿系統設備

產品介紹

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遠端電漿源

產品說明

呈睿國際Torrent 系列高性能遠端電漿源採用全數位設計,搭配原有射頻產生器,可調整輸出功率,以因應更複雜的製程需求。搭配更高的製程頻率,達到更好的電漿光譜能量與解離效果。可廣泛應用於半導體PECVD/PEALD製程晶圓再生表面清潔的應用。更節省電力能源與製程氣體使用。
目前可搭配功率1000W/1500W/2500W多個規格。
產品詳情
規格說明

產 品 特 性

應    用

優   勢

  • 全數位化控制系統

  • 節能減碳高效能設計

  • 低維護成本設計

  • 半導體 PECVD 腔體清潔

  • 半導體 PEALD

  • 晶圖再生表面清潔

  • < 2s 快速匹配

  • 100% 電漿點燃成功率

  • 電漿解離可控制與監控

 

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