Paramount MF 5 kW, 2 MHz (AC 208V)

產品說明

Advanced Energy Paramount Plus 5 kW (2 MHz, AC 208V) 是半導體與高階工業電漿製程（如 PVD 濺鍍、PECVD 沉積及電漿蝕刻）中最具代表性的工業級高功率射頻電源（RF Generator）。本機款（常見型號如 Paramount MF 5002）搭載高解析度的數位架構，專為在苛刻的動態製程環境中，提供高重複性、超低阻抗波動的電漿輸出而設計。

產品詳情

規格說明

Paramount MF 5 kW, 2 MHz (AC 208V)
M/N: 31550102-600
數量:2

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